新聞通(tōng)告

潔淨技(jì)術(shù)與設備的(de)發展和(÷←$hé)應用(yòng)趨勢

發布：東方恒潔淨化   更新時(shí)間÷φ‌(jiān)：2020年(nián)03月(yuè)11日(♠∏rì)



潔淨技(jì)術(shù)通(tōng)常包括：空(kōng)氣淨化(∑εhuà)技(jì)術(shù)、空(kōng)調技(jì)術(s​×♠φhù)、水(shuǐ)純化(huà)技(jì)術(♣∑✔shù)、氣體(tǐ)純化(huà)技(jì)術♣±¶(shù)、微(wēi)量雜(zá)質控制(zhì)技(jì)術(shù)≥ φ₽、潔淨環境的(de)監測技(jì)術(shù)及相(xiàng)關的(de)Ω®¥環境質量的(de)控制(zhì)技(jì)術(shù)。淨化(huà)工(gōng)程技(jì)術(shù)在電(diàn)子(zǐ)>↕&→、核子(zǐ)、航空(kōng)航天、生(shēng)物(wù)工(g§£ōng)程、制(zhì)藥、精密機(jī)械、化(huà)工(✘≈​gōng)、食品、汽車(chē)制(zhì)造等高(gāβ♥o)科(kē)技(jì)工(gōng)業(yèσ±λ)領域及現(xiàn)代科(kē)學領域中得(de) ✘↔←到(dào)廣泛應用(yòng)。

 

對(duì)于半導體(tǐ)設備來(lái)講，淨化(huàβ→σ)工(gōng)程技(jì)術(shù)在微(wēi)電(di¥↑♣àn)子(zǐ)技(jì)術(shù)中起著(zhe)十分(fēn)♣λ♣重要(yào)的(de)作(zuò)用(yòng)。微(wēi)電(diàn•←₩)子(zǐ)技(jì)術(shù)的(de)核心是(sφ₽≤hì)集成電(diàn)路(lù)，而集成電(di"₹✘àn)路(lù)的(de)生(shēng)産對(duì)其工≤©☆(gōng)藝環境和(hé)工(gōng)藝流程中的(de)↓∏α•淨化(huà)技(jì)術(shù)和(hé)設備提出了(le)₩''嚴格的(de)要(yào)求。我國(guó)在“九五&rdq♦$ uo;期間(jiān)大(dà)力發展以微(wēi)電(d×®iàn)子(zǐ)為(wèi)重點的(de)信息産業(yè)。淨化(huà)$©∑工(gōng)程技(jì)術(shù)水(shu♥δ±ǐ)平在某種意義上(shàng)已成為(wèi✔✔ק)衡量一(yī)個(gè)國(guó)家(jiā)和(hé)地(dì)區(qū✘ δ)科(kē)學技(jì)術(shù)水(s€×₽huǐ)平和(hé)工(gōng)業(yè)水(shuǐ)平的(de)一"↑(yī)個(gè)重要(yào)标志(z'♥&hì)。

 

随著(zhe)我國(guó)人(rén)民(mín)生(shē≈αng)活水(shuǐ)平提高(gāo)，人(rén)們對(duì)♥✘ ♣生(shēng)存環境及生(shēng)活質量提出了(le)越來(•​★lái)越高(gāo)要(yào)求，用(y£σòng)水(shuǐ)純化(huà)設備制↑¶£₩(zhì)備的(de)高(gāo)純水(shuǐ)已受到(dào)人(rén₩↑)們普遍歡迎，淨化(huà)工(gōng)程技(jì)術(shù)已開Ω≠↕₽(kāi)始進入千家(jiā)萬戶，進入人(rén)們的(de≈©$)現(xiàn)代生(shēng)活。

 

我國(guó)的(de)潔淨技(jì)術(shù•≤✔)和(hé)設備與國(guó)外(wài)先進國(gu×Ωó)家(jiā)相(xiàng)比差距是(shì)明(míng)✔÷顯的(de)，我國(guó)1965年(nián)才開(kāi)始生(shēngγ↓)産的(de)HEPA過濾器(qì)，比國(guó)外(wài)晚了(le)十五π"年(nián)。1975年(nián)開(kāi)始生(shēng)産的(dβ​≤←e)光(guāng)散射塵埃粒子(zǐ)計(jì)數(shù↕ ✘)器(qì)比國(guó)外(wài)晚​•★‍了(le)二十年(nián)。0．1微(wēi)米潔淨技(jì)術(shù)和(hé)設備在國(guó) ¥際上(shàng)先進國(guó)家(jiā)已成為(wèi)成熟 β₩£技(jì)術(shù)，我國(guó)則剛剛起步。

 

世界各工(gōng)業(yè)先進國(guó)家(jiā)為㙣↔(wèi)适應超淨技(jì)術(shù)的(de)≈¶☆₽發展，對(duì)大(dà)量使用(yòng)的(de)高(gāo)$'∏λ效過濾器(qì)的(de)研究從(cóng)‌¥→未中斷，幾年(nián)來(lái)一(yī)直在開(k★✔↕āi)發不(bù)同結構不(bù)同性能(néng)的‌φ±↔(de)新産品，美(měi)國(guó)自(zì×λ★)1979年(nián)開(kāi)始研制(zhì)0．1微(wēi)米ULPA過濾器(qì)，1984年(nián)美(měi)國(guó)AAF公司開(kāi)始生(shēng)産0．1微(wēi)米無隔闆ULPA過濾器(qì)，目前0．1微(wēi)米ULPA過濾器(qì)在美(měi)國(guó)AAF公司、FLANDERS公司和(hé)CAMBRIDGE公司已形成商品化(huà)生(shēng)産。日(rì)本也(yě)已成λ✔§為(wèi)世界上(shàng)生(shēn£'®γg)産0．1微(wēi)米ULPA過濾器(qì)廠(chǎng)家(jiā)最多(duō)的(de∏<‌)國(guó)家(jiā)，品種繁多(duō÷ )，産品系列化(huà)，尤其是(shì)低(dī)壓損型0．1微(wēi)米ULPA過濾器(qì)的(de)開(kāi)發成功解決了(le)初阻力大δ≈(dà)的(de)技(jì)術(shù)難題。國(gu'Ω'πó)際市(shì)場(chǎng)對(duΩ•ì)高(gāo)效空(kōng)氣過濾器(qì)的(de)需求量很(hěn)大(dà)，且每年(ni•≠án)均有(yǒu)增長(cháng)，目前日(rì)本每年(↕≥÷nián)銷售超過100萬台，按每台平均價格200美(měi)元計(jì)算(suàn)，銷售額達2億美(měi)元。我國(guó)高(gāo)效空(kōn♣↔®¥g)氣過濾器(qì)市(shì)場(chǎng)需求量已接近(jìn♥≥)每年(nián)10萬台，占國(guó)際市(shì)場(chǎng♣€)的(de)2％~4％，但(dàn)至今還(hái)沒有(yǒu)0．1微(wēi)米ULPA過濾器(qì)生(shēng)産，用(yòng)γ$于超大(dà)規模集成電(diàn)路(lùπ→↔)生(shēng)産潔淨廠(chǎng)房(fáng≈∞§∏)及各種高(gāo)科(kē)技(jì)♣♦領域潔淨廠(chǎng)房(fáng)的(de)0．1微(wēi)米ULPA過濾器(qì)目前還(hái)要(yào)依賴進口。

 

在潔淨室建設規模和(hé)技(jì)術(shù)水(shuǐ)平上(shà☆®ng)，我國(guó)與先進國(guó)家(jiā)差距更大(dà)ε™β。日(rì)本清水(shuǐ)建設公司一(yī)家(jiā₹®α)，1982年(nián)到(dào)1987年(nián)期間(jiān)承建的(de)潔淨室面積達71．8萬平方米，而我國(guó)目前一(yī)年(nián)承建  ✘✘的(de)潔淨室總面積還(hái)不(bù)到(dào)10萬平方米，但(dàn)八五期間(jiān)有($☆₹δyǒu)較大(dà)發展，1993年(nián)承建潔淨室總面積已接近(jìn)15萬平方米。美(měi)國(guó)的(d∏∞∑✔e)潔淨室建設規模更大(dà)，1998年(nián)統計(jì)已達188．5萬平方米。在潔淨工(gōng)程技(jì)術(sh¥↓ù)水(shuǐ)平上(shàng)，80年(nián)代末期，國(guó)外(wài)已大(  ♦÷dà)量建成0．1微(wēi)米級的(de)超淨室，1987年(nián)日(rì)本三洋新瀉工(gōng)場(•'☆€chǎng)建成十級潔淨廠(chǎng)房(fáng)3000平方米，NIT原木(mù)則建成了(le)四個(gè)1000平方米控制(zhì)0．1微(wēi)米塵埃的(de)千級廠(ch✘←ǎng)房(fáng)，換氣次數(shù)高(gāo)達300次／分(fēn)。美(měi)國(guó)在台灣的(de)TSMCS新廠(chǎng)已建成第四代管道(dào)式潔淨室總面積達10000平方米。我國(guó)使用(yòng)的(de)↑&±0，1微(wēi)米十級潔淨室主要(yào)依賴從(cóng)國(guó)外(wài<♠)進口。由于高(gāo)潔淨級别的(de)£φ潔淨室造價十分(fēn)昂貴，0．1微(wēi)米十級潔淨室每平方米造價高(gāo)達1萬美(měi)元以上(shàng)。在大(dà)規模集成電(diàn)路(l↕∞ù)制(zhì)造裝備的(de)投資中潔淨廠(chǎng)房(fá​‌ng)占有(yǒu)相(xiàng)當高(gāo)→$​÷的(de)比例，這(zhè)與集成電(diàn)路(lù ™)工(gōng)藝不(bù)斷更新，産品更新換代周期越​↕來(lái)越快(kuài)的(de)發π₽展趨勢不(bù)相(xiàng)适應，嚴重制(zh↑©ì)約了(le)大(dà)規模集成電(diàn)∑≤∞路(lù)技(jì)術(shù)的(de)發展。

 

德國(guó)MW公司發展的(de)使用(yòng)隔離(lí)技(jì↕✘‍$)術(shù)的(de)亞微(wēi)米生(shēng)産微(wēi)★±"£環境系統設備和(hé)技(jì)術(shù)在近‍‌(jìn)幾年(nián)中得(de)到(dào≤γ)廣泛采用(yòng)。該項最新的(de)潔淨技( ↓¶≈jì)術(shù)在100級潔淨度的(de)潔淨廠(chǎng)房(fáng)中，采用(yòn♣ε€‌g)工(gōng)藝設備局部使用(yòn∑πg)隔離(lí)技(jì)術(shù)的(de)微(wēi)環境，把>≈₹↑投資比例壓縮到(dào)高(gāo)級别的(de)微(wēi)& ‌ 環境，消除了(le)操作(zuò)者與工(gōng)π™藝設備運行(xíng)的(de)二次污染源産生(shēng)λ>γ對(duì)集成電(diàn)路(lù)成品率和(hé)可(kě)靠性&•的(de)影(yǐng)響作(zuò)用(yòng)。

 

潔淨技(jì)術(shù)和(hé)裝備的(de)♠ 國(guó)際市(shì)場(chǎng)十分±±↓α(fēn)巨大(dà)，日(rì)本到(dào)80年(nián)代末、90年(nián)代初潔淨技(jì)術(shù)和(hé)設★×≤備的(de)銷售額已突破35億美(měi)元。美(měi)國(guó)和(hé)西(xī)歐等先進國(guγ≥ó)家(jiā)潔淨設備和(hé)基礎部件(jià"♣↕n)的(de)銷售額已達73億美(měi)元。據中國(guó)電(diàn)子(zǐ‍α)專用(yòng)設備工(gōng)業(y©≤✔φè)協會(huì)統計(jì)，我國(guó)ε♥ 主要(yào)八家(jiā)最大(dà)的(de)淨化(huà)設備廠(chǎng)的(de)銷售額1990年(nián)為(wèi)8217萬元，還(hái)不(bù)足1億，1993年(nián)達到(dào)14495萬元，占國(guó)際市(shì)場(chǎng)銷售額的(de)0．34％。但(dàn)随著(zhe)我國(guó)高(gāo)新技(jì)術(shù÷©₩)的(de)迅速發展和(hé)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)工(₽★¥&gōng)業(yè)、光(guāng)纖工(gōng)業(yè)、液πδ♥∞晶顯示工(gōng)業(yè)及光(guāγ↕±ng)電(diàn)器(qì)件(jiàn)工(gōng)>₹♣業(yè)、生(shēng)物(wù)工(gōng)程、醫(yī)藥工(g‍ €≈ōng)業(yè)的(de)發展，我國(guó)潛在的ε‌(de)巨大(dà)的(de)潔淨技(jì)術(shù)産品市(shì)場§←Ω¥(chǎng)，以每年(nián)40％~50％的(de)增長(cháng)速度在增加。