
新聞通(tōng)告
淨化(huà)車(chē)間(jiān)相(xi♥∏§àng)對(duì)濕度嚴格控制(zhì)的(d∞€∞e)必要(yào)性分(fēn)析
淨化(huà)車(chē)間(jiān),亦稱淨化(huà)室、淨化(hu₽σà)車(chē)間(jiān)、潔淨室或清靜(jìng)室。淨化(h ☆uà)室的(de)關鍵作(zuò)用(yòng)為(wèi↑×)室內(nèi)空(kōng)氣污染操縱,沒有(yǒ≈®↑♥u)淨化(huà)室,環境污染比較敏感零部件(jiàn)不<★α(bù)太可(kě)能(néng)大(dà)批量生(shēng)産。>±✔Ω在FED-STD-2裡(lǐ)邊,淨化(₽₹↕huà)室被界定為(wèi)具有(yǒu)空(kōng)氣淨化(huà)、分(€≠fēn)派、提升、結構原材料和(hé)設備₩ 的(de)屋子(zǐ),在其中特殊的(de)✘¥Ω♠标準的(de)操作(zuò)流程以操縱氣體(tǐ)飄浮顆粒濃度值,進✘↔±而超過适度的(de)顆粒潔淨度等級級別。
淨化(huà)車(chē)間(jiān)空(kōng)氣濕度操縱不(bù)α'太好(hǎo),總有(yǒu)将會(huì)使淨化(huà)車(chē)λ"間(jiān)整體(tǐ)主要(yào)表現(xiàn)♠ "降低(dī),并且還(hái)會(huì)産生(shēng)下(€ε§★xià)列這(zhè)種一(yī)連串的(deεδ)危害。下(xià)面小(xiǎo)編就(jiù)為(wèi)大(dà)家(∑ ≈™jiā)分(fēn)享為(wèi)什(shén)麽淨化(hα♥uà)車(chē)間(jiān)一(yī)定要φ÷ ↕(yào)控制(zhì)相(xiàng)對(duì)濕度。
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1、病菌生(shēng)長(cháng)發育。
病菌和(hé)别的(de)生(shēng)物(wù↔σ↔)污染(黃(huáng)曲黴菌,病毒感染,細菌,₩∏滿蟲)在空(kōng)氣濕度超出60%的(de)自(zì)然環境中能♥™¥(néng)夠活躍性地(dì)繁育。某些(xiē)有(yǒu)益菌在空 ®(kōng)氣濕度超出30%時(shí)就(jiù♠¥ )能(néng)夠提高(gāo)。而空(kōng)氣濕度處在40%至60%的"✔≤÷(de)範疇中間(jiān)時(shí),能★♥'(néng)夠使病菌的(de)危害及其呼吸道♥(dào)感染降到(dào)最少(shǎo)。因此淨化(h☆₹♠βuà)車(chē)間(jiān)的(de)空(≈α<kōng)氣濕度必須操縱在必須範疇。
2、空(kōng)氣濕度操縱不(bù)太好(hǎo),非常容₩Ω易導緻淨化(huà)車(chē)間(jiān)裡(l₽£¥ǐ)的(de)金(jīn)屬腐蝕。
許多(duō)放(fàng)熱(rè)反應的(de)速率,↑包含浸蝕全過程,将随之空(kōng)氣濕度的(de)提高(gāo¶)而加速。全部曝露在淨化(huà)車(chē)間(jiān)周邊♠§氣體(tǐ)中的(de)表層都(dōu)迅速地(dì)被植物(wù)遮蓋<♥上(shàng)最少(shǎo)一(yī)層層單分γ ∑(fēn)子(zǐ)層的(de)水(shuǐ)&÷₩。當這(zhè)種表層是(shì)由能(néng)夠與水(sδ≥huǐ)反映的(de)薄金(jīn)屬塗層構成時(shí),高(gāo↑≤ Ω)環境濕度能(néng)夠使反映加快(kuà'®i)。某些(xiē)金(jīn)屬材料,比如(rú)鋁,能'♦(néng)夠與水(shuǐ)産生(shēng)一(yī)層± σ層維護型的(de)化(huà)合物(wù),并阻攔深化✘↑(huà)的(de)氧化(huà)還(hái£∑)原反應;另這(zhè)種金(jīn)屬材料,∞>比如(rú)氧化(huà)銅,不(bù)是(shì)具備維護&工(gōng)作(zuò)能(néng)力的(de)。在高(&•gāo)環境濕度的(de)自(zì)然環境中,銅制(zhì)表層更非常容易×→γ¥遭受浸蝕。
3、淨化(huà)車(chē)間(jiān)空(kōn♣♣€g)氣濕度操縱不(bù)太好(hǎo)會(huì) ✔出現靜(jìng)電(diàn)作(zuò)用(yòng)。φ
當空(kōng)氣濕度超出50%時(shí),靜(jìng)電(diàφ∑n)作(zuò)用(yòng)剛開(kāi)始快(kuài♦β≈&)速消退,可(kě)是(shì)當空(kōn↓≈g)氣濕度低(dī)于30%時(shí),他(tā)<₩"們能(néng)夠在導體(tǐ)和(hé)絕緣體(λ tǐ)或是(shì)未接地(dì)裝置的(de)表γ™層上(shàng)不(bù)斷存有(yǒu)很(hěn)長(cháng)過β&•段時(shí)間(jiān)。東(dōng)莞<φ→"淨化(huà)車(chē)間(jiān)空(kōn®λ♥g)氣濕度在35%到(dào)40%中間(jiān)能(néng)夠做(zu§↑✘✔ò)為(wèi)1個(gè)比較滿意的(de)最合适的(®"de),半導體(tǐ)材料淨化(huà)車(chē)間(jiā"★n)通(tōng)常都(dōu)應用(yòng)附加的(deβ∏®)操縱設備以限定靜(jìng)電(diàn)作(zu♦♣&εò)用(yòng)的(de)積澱。
4、吸水(shuǐ)能(néng)力。
空(kōng)氣濕度操縱不(bù)太好(hǎo),對(duì)淨化(h®₽¶uà)車(chē)間(jiān)吸水(shuǐ)能(néng)力産出率必÷'須的(de)危害。
5、水(shuǐ)蒸氣冷(lěng)疑。
在空(kōng)氣濕度較高(gāo)的(de)淨化(huà)車(chē)間(×✘®←jiān)自(zì)然環境中,萃取水(shuǐ)形的(de)毛細☆'β∑管力在顆粒物(wù)和(hé)表層中間(× ♣Ωjiān)産生(shēng)了(le)聯接鍵₽£→,能(néng)夠提升顆粒物(wù)與矽₽♥ 質表層的(de)黏附力。這(zhè)類效用(yòng)稱之為(w →èi)凱爾文(wén)萃取,就(jiù)是(shì)說₩€(shuō)當空(kōng)氣濕度低(dī₩§≈∏)于50%時(shí)并不(bù)是(shì)關鍵,但(dàn)當空∞₹(kōng)氣濕度在70%上(shàng)下(←$→♠xià)時(shí),就(jiù)變成顆粒物(w↑$§✘ù)中間(jiān)粘附的(de)關鍵能(néng)量。
6、淨化(huà)車(chē)間(jiāβ♦n)的(de)環境濕度在40%至60%的(de)範疇一(y↕✔"✔ī)樣都(dōu)是(shì)人(rén)們覺得(de)舒服的(de)适當ββ★ε範疇。
假如(rú)淨化(huà)車(chē)間 §(jiān)環境濕度過過高(gāo)使人(rén)感覺憋悶,而環境÷$濕度小(xiǎo)于30%則會(huì)令人(rén)≈'•覺得(de)幹躁,肌膚幹裂,呼吸系統不(bù)适 ≈ε感及其感情上(shàng)的(de)很(hěn)慢(λ→↕màn),進而危害工(gōng)作(zuò)中。
7、淨化(huà)車(chē)間(jiān)光(guāng)刻→ ≤的(de)衰退。
在半導體(tǐ)材料淨化(huà)車(chē)間(jiān)中最急需解決©× 适當操縱的(de)是(shì)光(guāng)刻膠的(de)敏感度。因為(wè'♣≥i)光(guāng)刻膠對(duì)空(kōn™₹♥g)氣濕度極其比較敏感的(de)特點,它對(duì)空(kōng)←≤ 氣濕度的(de)操縱範疇的(de)規定是(s™σhì)最嚴苛的(de)。空(kōng)氣濕度和(hé)溫度針對£☆Ωφ(duì)光(guāng)刻膠可(kě)靠↓↑↑©性及其精準的(de)規格操縱全是(shì)很(hěn)重要(yào)的♥(de)。乃至是(shì)在控溫标準下(xià),光(guāng)刻 →"膠的(de)黏性将随之空(kōng)氣濕度的(de)升高(gāλ<σ&o)而快(kuài)速降低(dī)。自(zì)然,更改黏性,就(jiε₩ù)會(huì)更改由固定不(bù)動多(duō)組→←&§分(fēn)鍍層産生(shēng)的(de)α'原膜的(de)薄厚。
除此之外(wài),在高(gāo)的(de)空(kōng)氣濕→✘₩度自(zì)然環境下(xià),因為(wèi)水(±®shuǐ)份的(de)消化(huà)吸收,使烤制(zhì)循環系統後光(guε&<āng)刻膠澎漲加劇(jù)。光(guāng)刻膠粘合力一(y>σ₹∏ī)樣還(hái)可(kě)以遭受較高(gāo)的(de)空(kōng)氣€濕度的(de)不(bù)良影(yǐng)響;σ∑較低(dī)的(de)空(kōng)氣濕度(約3∞₹'0%)使光(guāng)刻膠粘附更為(wèi)₽☆←非常容易,乃至不(bù)用(yòng)聚合物(wù)瀝青€改性劑,如(rú)六甲基二矽氮烷(HMDS)。


